توضیحات

فلوکنترلر عملکرد بالای سری Unit 8160 جریان گاز را با شیر الکترومغناطیسی دقت بالا کنترل نموده و برای سنجش جریان عبوری از سنسور از خصوصیات حرارتی گاز بهره می برد. بدلیل اینکه اندازه گیری حرارتی جریان جرمی از فشار و دما مستقل می باشد این روش، اندازه گیری پایداری برای شرایط متخلف فرآیند فراهم می نماید. اختراع IsoSensor سنسوری با پایداری بالا و انحراف کمتری ایجاد نمود بنابراین نیاز به کالیبراسیون دوره ای کمتری وجود خواهد داشت.  همچنین اثرات سیفون حرارتی حذف شده است. شیر کنترلی الکترومغناطیسی دقیق بازه وسیعی را در بر گرفته و دقت و کنترل مافوق تصوری را ایجاد می نماید. این سنسور با هدف 8 میلیون سیکل کاری بدون افت عملکرد طراحی شده است.  همچنین نسبت به عملگر های پیزوئی قابلیت اطمینان بالایی داشته و می تواند در بازه وسیعی از فشار عمل نماید. این کنترل کننده جریان با قسمت های کمتری طراحی شده است تا سرعت بالا، پاسخگویی و قابلیت اطمینان بلند مدت بالایی داشته باشد.

کنترل کننده جریان سری Unit 8160 برای مقاومت خوردگی بالا برای تعداد زیادی از گازهای خورنده طراحی شده است.

مزایا:

• مقاوم در برابر خوردگی
• قابلیت اطمینان بالا – MTBF 550000 ساعته و انحراف بسیار پایین (کمتر از 0.6 درصد در سال) و کاهش عملیات مورد نیاز برای نگهداری- افزایش آپ تایم بودن و کاهش هزینه ها
• کنترل دیجیتالی
• کالیبراسیون با رزولوشن بالا ( جدول 32 نقطه ای کالیبراسیون برای هر گاز)
• MFC های MultiFlo را می توان برای گازهای و بازه های مختلف تنظیم نمود